Általános tudnivalók: A mikroszkópikus mérettartomány elemző műszere

Néhány jellemzője:
Laterális felbontás és vizsgálati mélység: kb. 1 mikron
Mérhető elemek: F - U.   A B - O detektálható (újabb készülékekkel mérhető). 
Elemzési pontosság: kb. 3 rel-% (3 s-% fölött).
Kimutatási küszöb (rutinszerűen) 0,02 - 0,5 s-%

Vizsgálható: bármely szilárd, nagy vákuumot elviselő, mérsékelt víz- vagy szervesanyag-tartalmú természetes vagy mesterséges anyag.

Mintaelőkészítés: Törés vagy vágás, csiszolás, polírozás, vákuumgőzölés többnyire szükséges. Maga a vizsgálat roncsolásmentes.

Elve: a minta kiválasztott részletét fókuszált elektronsugár bombázza, a keletkező röntgen-vonalak alapján az elemek azonosíthatók, mennyiségük mérhető. Pásztázó elektronsugárral nagyított képek készíthetők, amelyek az összetételi különbségeket (az anyag szövetét), egyes elemek eloszlását vagy egyebet (domborzat, katódlumineszcencia stb.) jelenítenek meg. 

A röntgenspektrométerek fajtái: WDS = wavelength dispersive spectrometer, hullámhossz-felbontó spektrométer (jó felbontású); EDS = energy dispersive spectrometer, energiafelbontó spektrométer (gyors).  

Az MTA Geokémiai Kutatóintézet elektron-mikroszonda laboratóriuma 1969. óta működik. A jelenlegi műszer: JEOL JCXA-733, 3 WDS-sel és egy EDS-sel, üzembe állítva 1980-ban. Azóta végzett fejlesztések: az eredeti vezérlő-kiértékelő számítógép (PDP) kiváltása PC-vel; digitális képrögzítés; új energiadiszperzív spektrométer (INCA Energy 200, Oxford Instruments) üzembe helyezésére 2002-ben került sor.

A műszert elsősorban kőzetek vizsgálatára, ásványok elemzésre használjuk. A legtöbb kőzet-alkotó és sokféle járulékos ásvány mennyiségi elemzését rutinszerűen végezzük, és szinte minden szóbajöhető ásvány elemzésére felkészültünk. Ugyanakkor nagy tapasztalatra tettünk szert egyéb anyagok, főleg kerámiák és üvegek vizsgálatában is. A műszer üzemeltetésében és fejlesztésében két kutató vesz részt, dr. Dobosi Gábor (vegyész és geológus, tudományos tanácsadó) és dr. Nagy Géza (fizikus, tudományos munkatárs).

Laboratóriumunk specialitása a ritkaföldfém-ásványok elemzése. Újabban végzünk monacit ólomtartalmán alapuló kormeghatározást.
 

A Geokémiai Kutatóintézet mikroszondája: